ASML公司作为目前世界上市场占有率最高的光刻机生产厂家，它的前身是荷兰电子巨头飞利浦的光刻设备研发部门。
曾在1973年成功研发出了新型光刻设备（PAS2000的原型），在整体性能研发方面取得一定成功，但由于成本高昂，且存在一系列技术问题，未能最终推出。
同时，由于其他设备商在解决接触式光刻机的缺陷问题上用不同的技术路径取得了突破，飞利浦一度计划要关停光刻设备研发部门。
不过，随后另一家半导体设备厂商ASMI希望与飞利浦合作开发生产光刻机，于是在1984年，双方分别出资约210万美元成立了ASML公司。
在当时的光刻机市场，ASML公司也还只是一个无名小卒。
当时市场主要被美国GCA和日本的尼康所占据，二者分别占据了约30%的市场，Ultratech占比约10%，剩下的市场则被Eaton、PE、佳能、日立等厂商瓜分，不过他们的份额均不到5%。
1990年左右，ASML公司推出PAS5500系列光刻机，这一设计超前的8英寸光刻机，其采用了模块化设计的光刻系统，可以在同一平台上生产多代先进IC。